一、動(dòng)態(tài)氣體校準(zhǔn)儀工作原理：

動(dòng)態(tài)氣體校準(zhǔn)儀主要由質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。
質(zhì)量流量控制器用于精確控制零氣和標(biāo)氣流量，零氣控制采用大流量控制器（10slpm），標(biāo)氣采用小流量控制器（100sccm）。氣體輸出后通過混合室進(jìn)行混合，達(dá)到所設(shè)定控制的濃度
內(nèi)置的臭氧發(fā)生器是由零氣經(jīng)紫外線照射而生成的，通過改變紫外線光強(qiáng)或零氣的流量來(lái)控制臭氧發(fā)生的濃度主要由質(zhì)量流量控制器、臭氧發(fā)生器、電源、管閥件、控制板及軟件組成。

二、功能特性：

• 技術(shù)成熟可靠
• 核心部件均為*
• 配比精度高，響應(yīng)時(shí)間段
• 模塊化設(shè)計(jì)
• HMI觸摸屏，操作簡(jiǎn)便
• 內(nèi)置MFC標(biāo)定校準(zhǔn)程序

三、技術(shù)特性：

• 質(zhì)量流量計(jì)準(zhǔn)確度：＜1%F.S
• 質(zhì)量流量計(jì)重復(fù)性：＜0.25%F.S
• 零氣流量： 10sl/min
• 標(biāo)氣流量： 100sml/min
• 標(biāo)氣入口： 3通道
• 臭氧發(fā)生器輸出濃度： 5ppm/1slpm
• 操作溫度： 0-45攝氏度
• 大稀釋比： 1000:1
• 響應(yīng)時(shí)間： 60s
• 電源： 220VAC@50Hz
• 尺寸： 440mm（寬） *178mm（高*420mm（深）（參考）
• 標(biāo)準(zhǔn)配置： 主機(jī)一套、電源線一根、說(shuō)明書一份